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シリコンウェハー

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シリコンウェハーは装置の条件出し、ダイサーやBGのプリカット、各種テストに使います。ダミーウェハーはもちろんのこと、各種サイズ､各種厚み､ダストフリー、P型/N型、オリフラ／Vノッチ、結晶方位など、ご要望に応じて対応致します。熱酸化膜ウェハーも小ロットからお受けいたしますのでお問い合わせください。

 

また、市場で品薄状態の3インチ・4インチダストフリーウェハー、12インチダミーウェハーも格安で販売致します。

※当社で在庫している製品につきましては、「シリコンウェハー在庫表」をご確認ください。在庫表以外にもお取り寄せ致しますのでお気軽にお問い合わせください。

各ウェハー製品仕様

ダストフリーウェハー

在庫情報はこちらをご覧ください。

 

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8   12
製法 - CZ/FZ
タイプ - P or N
ドーパント - B / P / As / Sb / ノンドープ
結晶方位 - <100> / <111> / <110>
厚み μm 280 380 525 525/625 625 725   775
厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25   25
抵抗値 Ω･cm 0.001～10000Ω
オリフラ - ○ ○ ○ ○ ○ ○/ノッチ   ノッチ
パーティクル Lv 0.3μm以上10個以下（≧0.3μm ≦10ea）
面状態 - 片面ミラー   両面ミラー
数量 lot 25枚
梱包形態 - ウェハーケース＋クリーンパック
備考 - ※高精度ウェハーお問い合わせください。
※低パーティクルウェハーお問い合わせください。
※各種膜付けお問い合わせください。

ダミーウェハー

項目 Unit 仕様
サイズ inch 2 3 4 5 6 8   12
タイプ - P or N / 不問
結晶方位 - <100> / <111> / 不問
厚み μm 280 380 525 525/625 625 725   775
厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25   25
抵抗値 Ω･cm 不問
オリフラ - ○ ○ ○ ○ ○ ノッチ   ノッチ
パーティクル Lv 不問
面状態 - 片面ミラー   両面ミラー
数量 lot 25枚
梱包形態 - コインロール（重ね合わせ）
備考 - -

SOIウェハー

サイズ inch 2 3 4 5 6 8
活性層 Unit 仕様
製法 - CZ/FZ
タイプ・導電型 - P / N / ノンドープ
ドーパント - B / P / As / Sb
結晶方位 - <100> / <111> / <110>
厚み μm 1.5～500
抵抗値 Ω･cm 0.001～10000Ω
埋め込み酸化膜 μm   0.05～10
支持基盤 - 仕様
製法 Lv CZ/FZ
タイプ・導電型 - P / N / ノンドープ
ドーパント - B / P / As / Sb
結晶方位 - <100> / <111> / <110>
厚み μm JEITA・SEMI標準 / 100 ～ 2000
抵抗値 Ω･cm 0.01～10000Ω
備考 - ※製法やドーパントの種類によって対応できる値が異なります

Wafer Dimension Specification SEMI－JEIDA 比較表

DIAMETER Dimension SEMI
JEIDA		 50.80
50.00		 -
60.00		 76.20
76.00		 80.00
-		 90.00
90.00		 100.00
100.00		 125.00
125.00		 150.00
150.00		 200.00
200.00
Tolerance SEMI
JEIDA		 0.38
0.5		 -
0.5		 0.63
0.5  		 -
0.5		 0.5
0.5		 0.5
0.5		 0.2
0.5		 0.2
0.5		 0.2
0.5
THICKNESS Dimension SEMI
JEIDA		 0.279
0.280		 -
0.330		 0.381
0.380		 0.400
-		 0.475
0.475		 0.52
0.525  		 0.625 0.625
0.625		 0.675
0.625		 0.725
0.725
Tolerance SEMI
JEIDA		 0.025
0.010  		 -
0.015		 0.025
0.015		 0.025
-		 0.025
0.025		 0.020
0.015		 0.020
0.015		 0.020
0.015		 0.020
0.025
PRIMARY
FLAT LENGTH		 Dimension SEMI
JEIDA		 15.88
17.50		 -
20.00		 22.22
22.00		 22.00
-		 27.00
27.00		 32.50
32.50		 42.50
42.50		 57.50
47.50		 57.50
57.50
Tolerance SEMI
JEIDA		 1.65
2.50		 -
2.50		 3.17
2.50		 3.00
-		 3.00
2.50		 2.50
2.50		 2.50
2.50		 2.50
2.50		 2.50
2.50
SECONDARY
FLAT LENGTH		 Dimension SEMI
JEIDA		 8.00
-		 - 11.18
-		 11.50
-		 13.50
-		 18.00
-		 27.50
-		 37.50
-		 NO 2nd flat
-
Tolerance SEMI
JEIDA		 1.65
-  		 - 1.52
-		 1.50
-		 1.50
-		 2.00
-		 2.50
-		 2.50
-		 -
-
BOW MAX Dimension SEMI
JEIDA		 0.038
- 		 - 0.040
-   		 0.040
-   		 0.040
-   		 0.040
-   		 0.040
-   		 0.060
-		 0.065
-
TOTAL THICKNESS
VARIATION		 Dimension SEMI
JEIDA		 0.012
0.015		 -
0.020		 0.025
0.025		 0.025
-		 0.025
0.025		 0.010
0.025		 0.010
0.025		 0.010
0.025		 0.010
0.025
PROFILE
COODINATE；Cy  		 Dimension SEMI
JEIDA		 0.093  
- 		 - 0.127
-		 0.133
-		 0.158
-		 0.175
-		 0.208
-		 0.208
-  		 0.225
- 		 0.242
- 

パターン付ウェハー

6インチ・8インチ・12インチのパターン付ウェハーも承っております。

 

  • パターン付ウェハー
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特記事項

  • 450mmダミーウェハーお問い合わせください
  • 熱酸化膜加工も承ります
  • アズスライスウェハーも承ります（ご指定の厚みのウェハーを製作いたします）
  • 高精度ウェハーも承ります

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